Genel bilgiler

İnce film kaplamalarında kullanılmaktadır. Düşük basınçlarda ısıl güç uygulanarak malzemenin katı formdan buhar formuna geçmesi sağlanır.

Teknik özellikler

Yaklaşık olarak 10-6torr basınç değerlerinde kaplama yapılabilmekedir. 

Numune gereksinimleri

Buharlaştırmak istenilen malzeme, pota ve QCM kullanıcıya aittir.