CVD sistemi tüp fırın, 2 kanallı gaz karıştırma sistemi, vakum pompası, vakum göstergesi ve bağlantı parçalarından oluşmaktadır.
Fırının maksimum sürekli çalışma sıcaklığı en az 1100 °C dir.
Sülfür gazı ve bağlantısı mevcuttur.
Gaz akışı altından ısıtma ve yakma işlemleri yapılabilmektedir.