Genel bilgiler

ZeGage, hassas işlenmiş yüzeylerde topografyanın incelenmesi ve pürüzlülük ölçümleri için temassız optik profil oluşturucudur.

Teknik özellikler

•    Temassız, üç boyutlu, taramalı beyaz ışık interferometrisi
•    5.5x ve 20x objektif ile iki farklı çalışma mesafesi
•    100 mm Z ekseni stroku
•    Yüzey Topografyası Tekrarlanabilirliği: <3nm
•    Veri Tarama Hızı :≤23µm/sn
•    Ölçüm başına maksimum veri noktası: 1.048.576
•    Optik Çözünürlük: 0,52µm ila 9,50µm (objektife bağlı)

Yapılan analizler

•    Yüzey pürüzlülüğünün belirlenmesi ve topografyanın görüntülenmesi

Numune gereksinimleri

•    İncelenecek numune yüzeyi düz ve temiz olmalıdır.