Genel bilgiler

Taramalı elektron mikroskobu (SEM; Scanning Electron Microscope), odaklanmış bir elektron demeti ile numune yüzeyini tarayarak görüntü elde eden bir elektron mikroskobu türüdür.
Elektronlar numunedeki atomlarla etkileşerek numune yüzeyindeki topografi ve kompozisyon hakkında bilgiler içeren farklı sinyaller üreterek bilgiler verir. SEM’de görüntü oluşturmak için en çok, elektron demeti tarafından uyarılan numune atomlarının yaydığı ikincil elektronlardan faydalanılır.
Numunenin farklı bölgelerinden kopan ikincil elektronların sayısındaki değişim öncelikle demetin yüzeyle buluşma açısına, yani yüzeyin durumuna bağlıdır. İkincil elektronların yanında geri saçılan elektronlar, karakteristik X-ışınları, ile sinyaller elde edilerek amaca uygun topografi  kompozisyon,morfolojik vb  analizleri yapılır.
Taramalı Elektron Mikroskobu’nda (SEM) sıvı olmayan ve sıvı özellik taşımayan her türlü iletken olan olmayan numune incelenebilir. İletken olmayan numuneler için carbon bant kullanılarak elektron iletkenliği sağlanmaktadır. Her çeşit metaller, tekstiller, fiberler, çeşitli malzeme bilimi yapıları, plastikler polimerler,biyolojik numuneler, parçacıklar (kum, çakıl, polen gibi) vs incelenebilir.

Teknik özellikler

•    Elektron kaynağı
•    Elektron demetleri
•    Manyetik lensler
•    Elektron hücreleri
•    Geri yansıyan elektronlar
•    İkincil elektron dedektörü
•    Stage kısmı (numune yerlestirilen hazne)
•    EDX dedöktörü

Yapılan analizler

•    Topoğrafi
•    Morfoloji
•    Yapı
•    Şekil
•    Boyut
•    Bileşim yapıları
•    Not: EDX dedektörü ile yapılan analizlerin belirli nokta veya kesitindeki elementel analizini ve haritalandırması yapılabilmektedir.

Numune gereksinimleri

•    Numunelerin % 100 kuru olması gerekmetedir.
•    Bazı biyolojik numuneler vb. numuneler için kaplama işlemi yapılmalıdır.